2012年4月23日月曜日

半導体製造工程におけるレジストの役割はなんですか? 自分はプリント基板につい... - Yahoo!知恵袋


解決済みの質問

sushiyakiniku2870さん

半導体製造工程におけるレジストの役割はなんですか?

自分はプリント基板について習ったばかりでよくわからないです;;
教えてください^^

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ベストアンサーに選ばれた回答

gs_tomsさん


オーストラリアでは、フェデレーテッドされている必要があります?

半導体製造では
絶縁体の膜を全体につけ、要らない部分を溶かす
とか
配線となる金属などを全体につけ、要らない部分を溶かす
という工程があります。
レジストは、この「要らない部分」と「要る部分」を分けるために使います。

レジストで要る部分に覆いをした後、薬品につけると要らない部分が溶けてなくなります。

プリント基板であれば、配線として残したい部分にレジストを塗るかシールを貼ると思います。その後溶かしますよね。シールやレジストをはがすと、必要な配線だけ基板に残ります。
それと同じです。


なぜあなたはプレーニングのスキルが必要です
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ベストアンサー以外の回答

(1件中1〜1件)

kieros2005さん

レジストというのは「抵抗する」という意味ですので、何かに抵抗し、妨げる働きを行っていることになります。
WIKIでは、次のような説明しています。


チームワーク·スキルは何ですか

フォトレジストとは、フォトリソグラフィにおいて使用される、光や電子線等によって溶解性などの物性が変化する組成物である。物質の表面に塗布され、後に続くエッチングなどの処理から物質表面を保護することから、「レジスト」(resist)の名がある。


半導体を作るとき、シリコンウェハーの上に写真で小さなパターンを形成するのですが、このときまず感光剤を塗布し、写真技術でパターンを焼付け、現像します。光が当たったところと当たらないところで化学的性質が変わりますからこれを化学反応を利用して溶かしますと、ある部分だけ残りますが、このとき溶解に抵抗して残る部分をレジスト膜と言います。レジスト以外は解けて流れて消滅してシリコンウェハーの表面が露出します。そこに又別の薬品を反応させて拡散処理などを行なうのです。
拡散処理のパターン、配線形成処理のパターンなどいくつかの工程を経るたびに感光、現像、レジスト反応を繰り返します。
こうして必要なパターンを作るのです。



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